二手 CANON FPA 6300 #293597782 待售

CANON FPA 6300是一種晶圓步進器，旨在提供高精度的光學光刻工藝。它采用CANON專有的激光幹涉儀鏡面對準（LIMA）技術,使設備能夠快速準確地對準單個表面形狀。這使FPA 6300能夠提供出色的圖像質量,分辨率降至納米級。它還配備了CANON專有的PSM（投影掃描顯微鏡）設備，使設備能夠精確控制掃描在晶圓上的曝光。該系統還允許快速和高精度晶片對準,確保晶片正確曝光以獲得最高的圖像質量。CANON FPA 6300還有一個模塊化的設計，使設備能夠適應各種類型的工作流。其模塊化元件可用於單層和多層光刻工藝。它的模塊化配置也使它非常可靠,並減少了維護的停機時間。FPA 6300的附加功能包括節能模式（Energy Save Mode），大幅降低了設備的能耗，以及清潔集模式（Clean Set Mode），允許在腔室中容易維持清潔水平。該裝置還具有一個低振動單元以減少操作過程中的振動影響，以及一個大尺寸的縫隙板以提供更一致的晶圓曝光。此外，CANON FPA 6300附有一臺先進的自動晶片處理機，使晶片的批量處理能夠減少整體處理時間。該工具還減少了人工，進而提高了整體效率，使設備能夠以更快的速度產生更精確的光刻。總體而言,FPA 6300是一種先進且高度深思熟慮的晶圓步進資產,它可以從最小的微觀圖像中獲得最高的精度。其創新技術和先進功能使其能夠提供卓越的生產能力和效率。