二手 CANON FPA 6300 #9389983 待售

製造商
CANON
模型
FPA 6300
ID: 9389983
Stepper.
CANON FPA 6300晶圓步進器是一種高度先進的光刻工具,用於半導體制造業。其精確度和性能使其成為各種應用的一個有吸引力的選項。它可以用於高級陣列、抵抗曝光和蝕刻過程。FPA 6300具有多項功能,使其既高效又準確。它擁有一個電動變焦鏡頭和一個步進重復設備,最大場尺寸為25毫米乘25毫米。這樣可以在對具有復雜幾何形狀的晶片進行陣列設計時實現高精度。它配備了自動對準系統,自動調整焦點以獲得最佳精度。步進器還有一個先進的模式識別單元,它甚至可以檢測最小的幾何誤差。這確保了光刻的最高保真度。CANON FPA 6300利用雙脈寬調制機降低熱效應。這有助於減少輻射對晶片的影響,進而增加圖樣的保真度。步進器還有一個線性級,最大加速度為10 m/s2,提供跨越晶圓的快速而平滑的運動。它還具有12 msec的高速掃描時間,導致掃描時間短,吞吐量高。FPA 6300還有一個獨立的激光聚焦工具,減少了對準設置的數量和所需時間。這樣可以實現高聚焦精度和可靠性,從而確保一致的高質量結果。它還具有自動增益控制功能,可確保抗蝕劑的最佳過度曝光,以及內置的圖像穩定器,可最大程度地減少閃爍效果。CANON FPA 6300是一種可靠、高效的步進器,具有很高的精度和速度.其先進的功能為半導體制造商提供了競爭優勢,使他們能夠在更短的時間內獲得更高的產量。這最終降低了成本,提高了產品質量,提高了客戶滿意度和品牌忠誠度。
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