二手 CANON i4 #293827042 待售

CANON i4是利用晶片步進技術在單個晶片上快速生產多份微電子器件的步進重復式掃描儀。它被用於包括光刻、微機械加工、接觸掩蔽和其他精密光刻工藝等眾多應用。CANON I 4是完全自動化的，可以處理尺寸達4英寸的晶片。它配備了明亮的白光照明源，分辨率達到亞微米級。該步進器可以使用PC兼容軟件輕松編程設備,以實現自動曝光控制。其兩軸坐標系實現了每個副本的精確和可重復定位，步進器由獨特設計的金屬底座和雙柱結構構成，以獲得最大的穩定性。它提供高質量的光學器件，用於精確對準和曝光設備圖樣。該機還配備了兩英寸厚的準直鏡頭、自動對焦機構以及消除掃描和曝光過程中紫外線輻射暴露可能性的濾光機。I4進一步配備了高精度的閘門陣列，32個閘門中的每一個都可以單獨編程。這使得步進器能夠以精確的精度和1%精度±標準來產生每一步。步進器還嵌入了一個「實時」光學監控工具，可以連續評估掃描和曝光過程的準確性。這樣可以確保每個步驟產生盡可能高的精度,並且周圍的環境不會幹擾過程的精度。I 4以五年保修為後盾,可在零泄漏環境中運行。CANON i4具有可擴展的模塊化構造，便於根據需要進行調整和升級。CANON甚至為該資產提供現場培訓和全面維修維護服務。