二手 CANON M31016 #9409288 待售

CANON M31016是一種頂級晶圓步進器，常用於半導體製造過程。它是一個先進的歷史記錄系統，結合了步進掃描系統和傳統步進重復系統的優勢。M31016配備了強大的Wyko防反射塗層級，降低了光掩模和晶圓反射率，提高了圖像質量。由於其改進的照明器設計,其Precision Point Positioning技術可實現6 nm的分辨率和0.1 µm的精度。通過其5軸級,可以確保更大的視野。其外部掃描儀提供了更多的運動控制,精度降至0.001 mm,使CANON M31016能夠輕松處理寬度超過8英寸的晶片。M31016還能夠處理高達0.25mm的薄片，精度為0.02 µm。它提供高達135毫秒的高端曝光時間,其1.2納米的出色分辨率使其非常適合光掩模打印和逆向工程等應用。其復雜的錯誤預防體系結構確保了一次又一次的可重復、高精度的結果,並得到了提供工具操作實時反饋的高級視頻檢查系統的支持。CANON M31016包括全面的維護和校準程序,允許用戶提高工具性能並減少系統停機時間。一種有效的OPC（基於模型的過程校正）監控算法，通過快速收斂提高了光刻熱點對比度，提高了OPC精度。憑借出色的自動化功能,M31016能夠顯著減少人員投入,從而以更少的資源實現更高的生產效率。CANON M31016還包括一個獨特的幾何聲明站點特征（GDSF）軟件,該軟件有助於減少未對齊錯誤並保持對齊精度。還包括一個專門的數據分析工具5D Architect,它使用戶能夠獲得GDSF格式的詳細數據可視化,並優化整個生產過程。總之，M31016是一種頂級晶圓步進器，非常適合半導體制造。它的高級功能確保了高精度的結果,而且人員投入極少,使其成為一個強大而高效的工具。