二手 CANON MS800 #9409285 待售

CANON MS800是半導體加工行業領先的晶圓步進器.該機采用高效的光學設備，提供卓越的精度和速度。它還具有先進的自動采樣能力，以確保精確的對準和曝光。該機器非常適合大型生產和研發應用。它具有超短焦距鏡頭高速曝光和大曝光場均勻曝光。當在較高的靈敏度水平下進行曝光時,這樣可以確保最大的準確性和最小的失真。該機具有集成隔振系統（VIS），將環境振動對暴露精度的影響降至最低。此外，該機還提供了一個屈曲減小級和一個夾套單元，用於高精度對準。CANON高度先進的曝光控制機允許對每次曝光的曝光設置進行高精度的微調。該工具提供反饋，使曝光能夠實時調整，以補償晶圓表面的變化。MS800有一個先進的自動對焦資產，它有一個12區矩陣來檢測和調整曝光的焦平面。該機還提供三維對準和自動曝光控制。該機具有集成視覺檢測模型（VIP），有助於檢測晶圓表面的缺陷。視覺設備采用高分辨率相機和圖像處理算法，提供詳細準確的報告。這樣就可以檢測到否則會被忽視的微小缺陷。該機具有先進的靜電充電系統，能夠保持清潔的環境。這有助於保持曝光過程的準確性。該機還配備了集成的表面清潔單元，使用特殊的刷子清潔步進器的表面。這有助於確保清潔的生產窗口並防止汙染。它還有一個內置的光致抗蝕劑去除機，將汙染風險降至最低。該工具可以由真空或光譜壓力驅動，這取決於光致抗蝕劑去除過程的復雜性。CANON MS800晶圓步進器是專為大批量生產半導體元件而設計的前沿生產機器。它通過一系列功能提供高效、準確和可靠的操作,以幫助維護產品質量。