二手 DYNAMIC MICRO SYSTEMS / DMS M1500 #293654411 待售

DYNAMIC MICRO SYSTEMS / DMS M1500
ID: 293654411
晶圓大小: 8"-12"
Reticle stocker, 8"-12" (300) Mask SMIF positions.
DMS(DYNAMIC MICRO SYSTEMS)DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500是一種最先進的晶圓步進器,旨在改進集成電路(IC)的制造。步進器設計用於處理6英寸和8英寸晶片,並具有最大掃描字段,最大可達105毫米x 105毫米。該設備具有出色的基板處理性能,可作為高精度的成像、掩蔽和暴露IC的工具。DMS M1500使用獨特的雙鏡頭系統,為用戶提供可變的NA和可變的工作距離,允許在廣泛的基板上成像。光學單元還支持多個波長,在波長和波長範圍內提供靈活性。步進器支撐著廣泛的基板,能夠在一次曝光中容納最多兩個基板。DYNAMIC MICRO SYSTEMS M1500配備高速XY級,能夠進行高精度對準、定位和跟蹤。它具有大的掃描字段、高可重復性和快速的掃描速率,允許最大吞吐量。步進器還具有一個內置的壓電級以支持對準和校準,以及一個先進的可編程控制機器的精度和可重復性。M1500設計方便用戶,具有全自動晶片處理工具和基於Windows的軟件用戶界面,便於使用。該資產還具有內置自動對焦功能和高分辨率自動對焦模型,可提高準確性。步進器利用尖端技術,配備了強大的上層圖像處理和圖像配準設備,以及強大的實時圖像分析系統。DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500還提供掩蔽精度、出色的對比度和分辨率以及高水平的光學掃描精度。該設備非常適合用於光刻和其他制造工藝。它是一種經濟實惠、可靠且用戶友好的現代半導體制造解決方案。
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