二手 ELECTROMASK / TRE 5X #9041055 待售

ELECTROMASK/TRE 5X是日本尼康公司設計的最先進的晶圓步進器，用於光刻或圖樣轉移到晶圓上的抗蝕層。這種設備包括一個主透鏡、一個標線級和一個投影光學元件，它能夠將最小尺寸為1.4微米的圖樣傳遞到200毫米晶圓上。光刻的第一步是利用TRE5X光學放大顯微鏡對標線級進行對準。一旦標線到位，主透鏡就可以聚焦在正在處理的晶片上。系統中使用的主透鏡由四個透鏡組成，其中兩個具有0.46的高數值光圈和兩個在較大光圈下校正消光的消色差。單位的分辨率極限為晶片上0.25微米，照明均勻度為5%。機器中從標線讀取數據的投影光體為四倍4X光學放大顯微鏡，數值孔徑為0.25，圖樣傳遞光斑大小為0.5微米。投影光學器件的對準是利用一種可自動補償放大誤差的遠心對準進行的。來自標線的信號被傳感器拾取，用於調整和監測遠心對準。該工具采用CCD攝像機和精密分束器進行位置檢測，具有超微米精度。通過將該模型與焦平面相結合，可以精確測量晶片的位置，同時提供高精度的級操作。ELECTROMASK 5X還配備了保護模塊和反饋控制系統，以確保設備的安全性和準確性。該系統還包括一個自動加載單元，允許高效和完整的晶圓處理。該機還能一次處理多種晶圓類型。總體而言，5 X是一種高度先進和精密的晶圓步進器，在光刻過程中提供了高精度和精確度。該工具非常適合用於集成電路制造、醫學工程和數據存儲等領域。