二手 GCA 6300 #131412 待售

GCA 6300是GCA公司制造的最先進的晶圓步進設備。它是一種利用最新投影成像技術的高速、高精度光刻工具.它能夠將光掩模定義的電路模式傳遞到基材表面，如半導體晶圓、光電材料和平板顯示器。6300是一種獨特的晶圓步進系統，因為它的超高分辨率是由冷凝器透鏡的數值孔徑（NA）決定的。這樣可以生成高達0.5 μ m的陣列元素大小。它還被設計為最大限度地減少失真，允許在成像過程中模式大小和對準的亞微米變化。GCA 6300的掃描級利用高分辨率線性編碼器耦合控制了舞臺的運動，實現了這一精度。該機組最大吞吐量令人印象深刻，為31晶圓/小時，平均尺寸為6英寸。此外，6300具有先進的掃描儀子系統，可同時處理多達兩張相片或相片。這使操作員能夠在不同模式之間快速切換，即使在同一晶圓上也是如此。GCA 6300也是完全自動化的，顯著簡化了用戶操作。安裝、成像、對準、聚焦控制和機器監控都可以通過計算機控制的精密微電動機完成。該工具為光刻操作提供了充足的靈活性和效率。在安全維護方面，6300擁有一系列功能，可隨時確保安全。其集成的安全聯鎖使交叉汙染風險最小化，而三級起動機構則防止資產因頻繁運動而疲勞。此外,還采用了真空德加室,以提高圖像分辨率.總體而言，GCA 6300晶圓步進器是一種高性能成像工具，能夠為各種基材提供優異的效果。它提供超高分辨率、卓越的吞吐量和自動化操作。