二手 GCA 6300B #293830722 待售
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ID: 293830722
DSW Wafer stepper
HP 5501A Automatic Compensator
Resolution: 500 nm
Olympus 2142 Lens
Registration tolerance: Max 0.30 um global alignment, Max 0.15 um local alignment
Maximum die size: ~15 mm x 15 mm
Minimum substrate size: ~10 x 10 mm
Hard Disk Drive (HDD)
Mask plates: 5 x 5 x 0.090", 5x Reduction, Soda lime glass.
GCA 6300B是用於創建半導體微處理器和電子元件的晶圓步進器。這臺機器能夠創建功能尺寸高達0.4微米的集成電路(ICs)。它具有高達每秒三個完整晶片步長的快速運行速度,並且可以同時處理多達八個階段。此步進器包含的線性級行程為30.5厘米,分辨率為0.0001mm。它位於一個78厘米X 91厘米的平臺上,被一個為正在發生的過程提供最佳溫度和大氣的環境房屋所覆蓋。該機配備了機械光學系統,該系統基於6英寸折射變焦鏡頭設計。鏡頭可以提供可變的數值光圈以及高精度和精確度。它還具有自動對焦技術,可確保不斷調整以保持最佳聚焦水平。此外,6300B晶片步進器能夠通過復雜的圖像分析算法進行晶片檢測和其他各種成像任務。它可以識別有缺陷的設備,測量其尺寸,並執行其他分析。它還能夠進行各種測試,如屈服驗證測試和晶圓應力分析測試。該機器具有圖形用戶界面(GUI),允許操作員以簡單的方式與設備進行交互。它還有一個全面的工具庫,可用於各種任務,如對齊、控制晶圓位置和驗證晶圓標記。總體而言,GCA 6300B晶片步進器是一臺功能極其強大的機器,能夠快速、精確地執行各種任務。其高度先進的光學系統使其非常適合用於生產錯綜復雜的高質量集成電路。
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