二手 GCA 6300B #9350318 待售

GCA 6300B是由GCA Corporation制造的一種抗蝕性步進器，該公司專門設計和生產光刻機。它是一種利用晶圓步進器將半導體晶圓與集成電路曝光的中場步進掃描光刻設備。6300B的設計符合亞微米光刻的嚴格要求，超過了早期步進掃描光刻機的精度和分辨率。該系統利用先進的成像技術，提供卓越的工藝控制，提高芯片制造過程的耐用性和吞吐量。機器的核心是先進的高分辨率鏡頭單元，它以極高的一致性提供卓越的圖像質量。此外還有一臺自動對準機，用於高精度、高速晶圓對準，確保精確生產復雜的集成電路。GCA 6300B還配備了業界領先的晶圓步進工具。該資產包括一個高度精確的閉環控制晶片級，提供對晶片定位和掃描的精確控制。此外，機器采用精確步進電機，精確掃描晶圓表面與激光二極管精確曝光。這確保了對晶片上掩模圖像的精確控制和定位。6300B的另一個關鍵特征是其先進的自動化計量模型，它利用視覺設備監測暴露模式的均勻性和保真度。此外,還有一個焦點系統跟蹤焦平面,以確保圖像準確且無失真。此外,該單元的設計具有極致的可擴展性,使其能夠升級以處理更大的晶圓尺寸,最大可超過200毫米。總而言之，GCA 6300B是一臺先進的晶圓步進機，能夠生產出高分辨率、復雜的集成電路，精確度令人難以置信。其閉環晶片級和步進電動機確保圖像的精確定位和定位，而其先進的計量系統則提供誤差檢查和分析。歸根結底，6300B是一種高精度亞微米電路生產的優秀中場光刻工具。