二手 GCA 6300C #9181535 待售

GCA 6300C是晶圓步進器，一種用於半導體制造的光刻工具。它是一種高精度設備，通常用於將圖樣從掩模傳輸到晶圓或基板上。6300C能夠以6"、8"和12"晶圓尺寸逐步重復光刻。GCA 6300C的鏡頭設備由Thorium-Fluoride設計提供動力，允許出色的分辨率和可重復的性能。鏡頭系統由位於炮塔上的閉環CCD相機操作。這樣可以實現高放大倍率和主動對齊功能。CCD相機也用於檢測任何對準誤差，優化操作員晶圓的位置。步進器連接到計算機單元,該單元允許用戶使用所需的設置對計算機進行編程。用戶可以輸入所需的放大倍率、焦點、基板溫度和快門速度。該工具還包括一個波前傳感器，用於測量透鏡資產的像差，以獲得最佳的傳輸圖像質量。6300C是高分辨率、高速光刻應用的絕佳選擇。它每天的最大吞吐量為1 20,000個晶圓，可以處理直徑達12英寸的晶圓。該模型在248nm的波長下運行，可以達到高達0.3微米的模式分辨率。該設備還可以實現高達0.2微米的特征尺寸，具有出色的線緣粗糙度。GCA 6300C也設計用於低維護操作。設計元素旨在增加上行時間並減少完成全循環對齊的時間。步進器還與標準附件如焦點運動、標線變換器和載荷/卸載系統兼容。它還具有對流輔助蝕刻工藝的能力，是為嚴格的潔凈室要求而設計的。6300C對於需要光刻系統中卓越的分辨率、速度、可重復性和低維護的任何人來說都是一個極好的選擇。