二手 GCA 8000 #131413 待售

GCA 8000晶圓步進器是一種用於制造微電路元件的光學光刻機。它是一種先進的微圖化和集成電路光刻工具。該工具用於制造半導體晶圓上的超精確圖樣。8000的特點包括：自動換標線系統、0.6 µm對準精度、7.5 nm分辨率和自動調平晶片級。再者，其最大圖案尺寸為100毫米x 200毫米，支撐石英、玻璃、矽基板。GCA 8000的操作從設備在步進器中加載標線開始。然後將標線與參考點對齊。然後設備使用一系列小型化透鏡將整個標線的圖像投射到晶片上。迷你鏡頭可以調整以改變投影的焦點或放大倍數。光刻曝光後,晶片被送入顯影系統.這是一個濕化學過程，導致去除暴露在光線下的光致抗蝕劑。開發的系統包括有多種溶液的儲罐，用於清潔和去除光致抗蝕劑。8000是相當令人印象深刻的一項技術，其應用數量眾多。它是一種高度可靠、先進的工具，用於廣泛的生產線。它能夠在缺陷最小的基板上產生準確、高分辨率的圖樣。該技術可用於各種集成電路的精密制造。