二手 GCA ALS 2145 #9411591 待售

GCA ALS 2145是一種在集成電路制造領域廣泛應用的微光刻工具。該機采用專利的線性-電機/光學-目標混合掃描平臺，準確定位其對準和曝光設備的投影光學器件。這使得它成為在半導體基板上設計微結構時需要高精度的應用的理想選擇。GCA ALS-2145配備了納米級的級精度，精度高達0.2納米，能夠對小至0.5微米的特征進行圖樣化。此外，其最先進的CCD攝像機系統和環境掃描裝置也提高了其對準精度，能夠在不影響其完整性的情況下適應任何外部影響。ALS 2145由於從一個基板到另一個基板的快速切換時間，使得它成為大批量生產的可靠選擇，是業界的主力儀器。這種晶片步進器能夠通過其獨特的雙向掩模交換機在每個晶片上采購多達8個不同的標線，即使在超高分辨率下也能產生高吞吐率。此外,其位於運動單元中的High Avoidance工具與交換工具相結合,可以同時加載和處理每個基板。此外，該資產還被設計為易於維護。它在光束路徑中沒有運動元件，因此不需要定期清洗或對準光學器件。它還有一個內置的自動聚焦選項，具有緊密的光束自動準直和很少的調制調節器，便於安裝和校準。ALS-2145是一種功能強大、可靠的工具,可以快速準確地生成高分辨率藍圖,用於生產世界上最新型、最偉大的集成電路。憑借其高吞吐量和精確度，這臺機器將在未來幾年繼續支持半導體行業不斷增長的需求。