二手 GCA ALS #35132 待售

GCA ALS（Application Light Source）是一種用於光刻的晶圓步進器。它為生產半導體晶片和其他相關材料提供了高精度的光學成像和模式對準。ALS配有8通道LED系統,可提供高達6,000 nm的原始光掩模照明和高達10,000 nm的成像分辨率。GCA ALS利用先進的光傳輸系統，確保光從光掩模精確對準晶圓表面。這樣做是為了確保成像結果準確無誤。ALS還配備了專門的激光能源，用於燒蝕非金屬和非氧化物掩蔽層。總體而言，GCA ALS能夠進行與半導體材料生產相關的各種模式化過程。使用ALS機器,可以實現高分辨率成像和高級掩碼對準等高級功能。該機還配備了多層堆棧晶片處理系統，為用戶提供了全方位的除塵和消除缺陷選項。為了提高吞吐量和準確性,GCA ALS配備了真正的微步進掃描機制,可以在單個曝光場中精確優化操作。此外，由於嵌入式激光標記技術，ALS能夠對位置和聚焦層進行實時錯誤檢測和校正。GCA ALS還支持為集成電路（IC）制造的所有階段引入工藝配方，使用戶能夠針對廣泛的應用開發優化工藝。利用最新的光學成像技術,該機器具有最高的吞吐量和精度。總體而言，ALS是一種精密的設備，為生產半導體材料提供精確的成像和掃描。集成的光傳輸和激光源技術確保了無錯誤的結果,並且具有多種可用的特性,因此非常適合廣泛的應用。