二手 GCA AutoStep 200 #293639166 待售

製造商
GCA
模型
AutoStep 200
ID: 293639166
晶圓大小: 6"
i-Line stepper, 6" 1995-1996 vintage.
GCA AutoStep 200是由GCA Corporation開發的精密晶圓步進器。它是一種先進的光刻工具,用於將電路圖樣傳遞到晶圓表面。步進器使用專利的光學微投影顯示器(OMPD)技術將超精確的數字圖像投影到晶圓上。這項技術最大限度地減少了成像失真,並允許生產高度精確和可靠的光敏設備。GCA AUTo-STEP 200設備配備了堅固的光學系統,搭配先進的數字成像和圖像處理系統。這種組合為用戶提供了高分辨率的結果、出色的可重復性,以及在設計、打印和處理納米級精密特性和大型模具方面的廣泛功能。機器的核心是其多級、高度適應性的投影單元,最小掃描間距為2.5 μ m,最大掩模為40 μ m。這臺機器包括鏡頭和獲得專利的反饋機制,以保持極低的線緣粗糙度和較低的線寬誤差,並在整個圖像上傾斜。對於最精確的作業,AutoStep 200提供了高級自動校正服務,可以糾正任何光學缺陷,如耀斑、像差和陰影。AUTO-STEP 200還有一個功能強大且高度可靠的曝光工具,用於將電路模式精確傳輸到晶圓上。該資產具有現場平整透鏡、快速掃描速度和卓越的可重復性,允許生產高精度和復雜的設備。獨特的曝光對準模型可確保電路在晶片上正確對準,從而消除由未對準引起的任何錯誤或失真。GCA AutoStep 200配備了多項其他最先進的功能,例如一個輸入/輸出端口,以集成其他光刻系統和工藝、除塵選項以及專門的診斷和監控選項。GCA AUTO-STEP 200除了為用戶提供卓越的精確度、精確度和質量結果外,效率也很高,為大型項目提供了快速的設置時間、大的光刻步驟和延長的曝光時間。它的易用性和快速周轉時間使它成為任何尋求可靠、自動化光刻工具的專業人士的熱門選擇。
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