二手 GCA DSW 8500 #293639852 待售
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ID: 293639852
i-Line stepper
Illumination uniformity: <= 2.5%
System resolution: 0.8 μm L/S
Depth of focus: <= 1.25 μm
Reduction: +/- 0.10 µm
Rotation: <= 0.05 µm
Telecentricity: +/- 0.25 ppm
Global registration: +/- 0.25 µm T.I.R
Local registration: +/- 0.15 µm T.I.R
Open frame: No repeaters
Orthogonality: +/- 1.0 ppm
Stage precision: +/- 0.10 µm
Wafer levelling repeatability: +/- 10 ppm
Reticle aligner accuracy: <= 0.1 µm
Aperture blade repeatability: +/- 0.25 mm
Aperture blade skew: +/- 0.25 mm
RMS Realiability: 30 Cycles
AWH Precision: +/- 3.0 mils
AWH Reliability: 50 wafers
Focus repeatability: <= 0.30 µm T.I.R
Reduction repeatability: <= 6.0 ppm T.I.R
Optic:
Lens specification: 1635-I Tropel
Focal length: 86
Resolution: 0.8 µm
Image field: 16 mm
Wavelength: 365 mm
E.P. Location: 439 mm
Reduction: 1:5
Depth of focus: n+/- 0.75 µ.
GCA-GCA DSW 8500晶圓步進器是一種高精度、成像的設備,用於生產集成電路和半導體器件。它是一種高分辨率、高精度的設備,結合了光學和X射線成像能力,以精確地成像、對準和陣列復雜的結構。GCA-DSW 8500具有每個晶圓最大6英寸(152毫米)的大型掃描區域、用於精確和可重復成像的多個全自動級、用於微觀成像的高度精確的測量和對齊設備,以及具有添加額外級和光學功能的可擴展體系結構。該系統設計方便用戶,需要最少的設置時間,配有功能齊全的操作員面板和交互式圖形用戶界面(GUI)以及一套全面的工具。該單元包括提供清潔、無塵環境的真空室。光學機器由高分辨率激光陣列、X射線源和長工作距離顯微鏡驅動。光學工具還配備了可提供實時數據分析和校準功能的圖像處理器和圖像處理軟件。GCA-GCA DSW 8500采用快速處理器和8英寸廣域CCD成像攝像頭。它使用集成的IMAP(映像掛載對齊過程)軟件進行控制,該軟件可實現手動和自動陣列。GCA-DSW 8500具有許多功能,旨在確保保持準確性和最小化可變性。這包括低噪音環境、減少振動的運動控制系統,以及內置的自檢和診斷功能,以確保最大的資產性能。通過將最新的成像技術與先進的運動控制系統相結合,GCA-GCA DSW 8500能夠以高達每秒3毫米的速度提供高分辨率成像,並具有緊密的重復性。該型號提供了可靠、可重復、高精度的成像平臺,非常適合生產高精度電子元件和器件。
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