二手 GCA DSW 8500SE #9252320 待售
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單擊可縮放
ID: 9252320
Stepper
Lens: TROPEL 2142G (436 nm), DFAS, PPC, 5x Reduction
Illumination: Theta III, insitu, maxi 2000 pulsed
Lamp power: Rated 1050 W
MIMIR 4105 Optical energy controller
Includes:
HVAC Unit (R12)
GCA 6660S Environmental chamber
Chiller
Spare parts
~1992 vintage.
GCA DSW 8500SE是一種分步重復晶片步進設備，適用於半導體制造中的多種應用。該系統具有廣泛的光譜靈敏度、超高分辨率、精確的圖樣放置和快速的吞吐量等特點。機器的靈敏、深紫外光學和先進的光學成像技術使它能夠將廣泛的光刻膠暴露在廣泛的波長和廣泛的層厚度上。針對先進的平版印刷工藝進行了優化。精確的步進電機驅動的x-y級允許在整個晶片中精確放置圖樣。這使得有可能對準和寄存器亞微米精度。DSW 8500 SE的光刻成像精度保持在各種圖像強度和比例範圍內。機器堅固的機械設計使單元能夠以極高的精度工作，即使暴露於其他機器的振動。其真空封閉級保證了步進器運行過程中晶片的最佳穩定性，提高了吞吐量和可靠性。GCA DSW 8500SE提供快速的吞吐量,晶圓加載時間不到兩分鐘,可獲得出色的薄膜均勻性和圖像放置穩定性。其先進的成像功能還允許簡單的圖像縮放和高度先進的覆蓋公差。該機的用戶友好功能包括可調節光強度的控制面板和易於讀取的顯示屏，以便快速調整曝光參數。此外,該工具可以通過可選的自動化功能實現自動化。總體而言,DSW 8500SE具有廣泛的光譜靈敏度、精度、速度和用戶友好的特性,是半導體制造晶圓步進器的絕佳選擇。憑借其可靠的先進光學性能和熱性能,對於需要可靠、穩定的光刻模型的客戶來說,該資產是理想的選擇。
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