二手 GCA / ISI ALS 200 #21478 待售

GCA/ISI ALS 200是用於集成電路（IC）生產的晶圓步進器。它是一種步進式機器，每小時的吞吐量高達200晶圓。該設備利用步進和重復技術在短時間內有效生產。GCA ALS 200通過兩個階段的照明為晶片供電。在第一階段，晶片被一個光源照亮，光源產生一個代表要轉移到晶片上的層的點圖樣。第二階段是用於曝光晶圓的投影。在此階段，晶片以高速X-Y級移動，生成的圖樣在不模糊的情況下轉移到晶片上。成功的曝光導致產生通向晶片的電路。ISI ALS 200定位精度高、精度高；它可以在X和Y方向上以1微米的精度在晶圓的整個表面上精確精確地放置標記。它還具有晶圓級位控制兩種控制模式的選擇。分別是微處理器閉環位置控制模式和計算機視覺開環控制模式。ALS 200還提供可調曝光設置,可根據外部要求進行操作。頻率選項允許對UV和低光級應用進行進一步調整。它還提供曝光監控、晶圓對準、數據存儲，並且可以與其他系統集成，如膠片跟蹤器和自動化。最後,GCA/ISI ALS 200允許在購買和初始安裝時進行完整的自定義。這包括定制口罩、膠卷盒式磁帶和真空裝載機,這些都是可選的,以及手動上載和遠程控制系統的功能。