二手 GCA XLS 7800 #9246052 待售

GCA XLS 7800是一種全場光學成像設備,可提供用於晶圓光刻應用的最先進的步進技術。步進器技術將可定制的高精度曝光光學器件與創新的光場透鏡結合在一起，以提高對焦深度，允許用戶在裝有空氣滑梯的情況下生產低至12 µm水平的設備，安裝光場透鏡的18 µm，以及0.35 µm的最小特征尺寸。該系統還集成了GCA專有iCentris™成像控制單元,這是一個集成組件,可實現過程調整和高分辨率成像。XLS 7800是經過驗證的生產級光刻機，提供非常高的吞吐量和分辨率。它具有完整的晶片場40mm x 40mm,最大晶片尺寸為200 mm,用於全面服務的晶片掃描和成像。GCA XLS通過其Skyfire™的光學成像工具、獨特的對準和成像控制器提供卓越的圖像精度和穩定性。每個工具上的Skyfire校準板都用於啟動、關閉和整個班次,以提供過程穩定性和可重復性。GCA XLS 7800提供UV-ASMLTM金剛石化光學元件,放大倍率高達3.4倍。這個先進的光學資產提供高分辨率的成像和精確的微調曝光參數，以確保最佳的圖像質量。這得益於整個場的高對比度和均勻性，它的動態粒子監測器進一步增強了這一點。XLS 7800還采用了快速更改的標線模型,可提高吞吐量並縮短維護時間。該工具還提供卓越的自動化功能,包括全自動索引、自動對焦、裝載識別和邊緣檢測。步進器設置通過包含的「自動設置」選項自動執行。采用GCA鋸齒形眼部圖樣,有效地保持了指標和步進重復精度.GCA XLS 7800還提供了廣泛的抵抗過程,同時支持同一晶圓上的各種抵抗,並提供了一個平臺來支持從晶圓到Reticle™激光直接成像。XLS 7800是一種高度可靠且經濟高效的成像設備,適用於廣泛的晶圓光刻應用,為生產、研發需求提供了功能豐富的多功能解決方案。它以最小的維護提供最大的吞吐量、精度和工藝產量，是任何先進光刻操作的理想選擇。