二手 GCA XLS 7800 #9382955 待售

GCA XLS 7800是一種先進的晶圓步進器,專為廣泛的制造過程而設計。該設備具有最先進的光學發動機和高性能XY級,可在各種基板上提供快速、高精度的重復操作。XLS 7800具有單色激光光源和每秒8英寸掃描加速度計安裝的激光掃描儀,可實現更高的吞吐量和改進的部分到部分叠加精度。光束光斑尺寸可調，以滿足各種曝光要求，包括硬接觸光刻和激光燒蝕。系統最多可同時處理24個作業，並具有易於使用的圖形用戶界面，用於作業提交和管理。GCA XLS 7800還具有高功率、自動化的曝光能力,以實現即使是最復雜的模式的高精度對齊。高速度和準確性的對準確保快速處理和最小的傳播誤差跨越大基板。自動曝光還可以實現步驟之間的快速轉換,從而進一步優化吞吐量。XLS 7800包括一個超低振動平臺和一個全局單元控制器，以確保精確和可重復的吞吐量。該機確保了頂尖光刻的穩定性，其自動對焦特性和效率增強提高了所有操作的準確性。該工具還提供了介電塗層和晶圓切片的集成選項,增加了自動化功能。簡而言之,GCA XLS 7800是一種自動化晶圓步進器,旨在最大程度地提高吞吐量和精度。其最先進的光學、高性能XY級、激光掃描、自動曝光以及介電塗層和晶圓切片的集成選項相結合,確保在大型基板上獲得快速、精確和可重復的結果。