二手 GCA XLS #111828 待售

GCA XLS晶片步進器是半導體工業中用於晶片制造工藝的高度自動化工具。它是一種常用於各種光刻工藝的DUV步進器，如集成電路和MEMS元件上光學和電子電路形成的光刻。XLS Wafer Stepper是一種多光束投影曝光工具,其投影圖像尺寸可達6 x 6英寸。它擁有先進的光學設計和專有軟件，使其能夠實現高度的吞吐量和準確性。多光束曝光工具提供了高效、高質量的光學成像過程和改進的光控制。GCA XLS晶片步進器可以處理各種尺寸的掩模幀（最多8 「x8」）和晶片，範圍從3「-8」。步進器具有先進的非接觸級設備,精確度為1.5um,曝光裝置的曝光速度可高達200Kms （20000秒）。它還提供了具有4nm精度的獨特掩碼對準系統。強大的電動機使X軸和Y軸的分辨率均達到4nm, theta軸的分辨率達到8nm。此外，XLS Wafer Stepper有一個內置的空氣清洗單元，帶有連續空氣機和兩級過濾工具。步進器還具有閃光燈資產和增強的閃光燈，這樣它就可以使用特殊的圖像叠加，如偏振光和地形函數。自動水平對準模型允許步進器精確測量晶圓的傾斜度，並確保最高質量的曝光。GCA XLS晶圓步進器可以處理復合和二進制掩模層。它還可以使用具有內置高精度註冊功能的專用查找表和能夠對對齊數據和掩碼模式進行高精度編輯的像素級編輯器來處理晶圓對齊設備。總體而言,XLS Wafer Stepper是一項前沿技術,為制造半導體產品提供了強大而準確的解決方案。其先進的技術和專有的軟件使其能夠提供高度的吞吐量和準確性，使其成為半導體生產的高效工具。