二手 HITACHI LD-5011iA #9085774 待售
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HITACHI LD-5011iA是為制造最先進的半導體器件而設計的晶圓步進器。這種晶圓步進器能夠通過一系列對齊的標線打印光來產生5英寸（200毫米）的微光刻圖像。它具有自動化、同時更換鏡頭、模式投影和對準功能,提供卓越的性能和效率。LD-5011iA是一個由聲光調制器組成的步進和重復設備，用於精確的標線定位和對焦。利用其自動化的模式投影和晶圓對準系統，可以在單個晶圓上投影和對準大量的模式。這種晶片步進器裝有最先進的、高解析度的光學投影透鏡，可以產生小至0.6微米特徵的衍射限定影像。此外,HITACHI LD-5011iA具有高速度和高精度功能,可提供最大的曝光時間和卓越的圖像質量。它還能夠支持廣泛的曝光,並且能夠抵抗允許用戶根據需要優化流程。該系統還具有多種可根據用戶需求使用的曝光功能。這包括用於最佳模式放置精度、缺陷檢測和快速晶圓檢測的現場安全角（FSE）。此外,該模型還能夠提供動態聚焦控制（DFC）和鏡頭處理功能。此外，LD-5011iA還裝有先進的冷卻裝置，有助於保持溫度和濕度的穩定性。這臺機器是一種先進的熱控工具，在所有環境條件下都能改善均勻性和均勻性。其He-Cd激光束源經過專門設計，能夠提供卓越的拍攝成功、均勻性和可重復性，從而獲得高質量的效果。總體而言，HITACHI LD-5011iA晶片步進器是一個強健、高性能的平臺，專為半導體微光刻加工而設計。憑借其眾多的特點和功能，如自動換鏡、圖案投影對準、動態對焦和鏡頭過程控制等，它是一項強大的資產，能夠提供高吞吐量、出色的圖案放置精度和優越的效果。
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