二手 HITACHI LD-5011iA #9130224 待售

HITACHI LD-5011iA是一種功能齊全的晶圓步進器,旨在提供高圖像質量和高度的過程均勻性。LD-5011iA設計具有許多關鍵特征，旨在優化光刻工藝並產生一致的結果。HITACHI LD-5011iA配備了還原物鏡（ROL），數值透鏡光圈為1.2，提供了晶圓的放大和高度詳細的圖像。顯微鏡還具有獨特的聚焦機制和低調的陷阱鏡頭平衡設置，以確保放大倍率不會在曝光過程中發生移位。晶圓步進器具有處理多種類型照明的能力，包括紫外線和可見波長，使其適合不同種類的光刻工藝。步進器還具有獨特的雙定向伺服快門機構，為光刻工藝的每個步驟提供穩定的曝光時間。晶圓步進器還設有高度精確的自動對焦設備，配備激光幹涉儀，可容納範圍廣泛的晶圓高度。LD-5011iA的最大分辨率為1.67 µm,可滿足廣泛的處理需求。該系統還提供了一個可選的軟件選項,用於創建具有自動聚焦設置的自定義焦點測量單元,從而使用戶能夠在各種操作條件下精確調整焦點。機器軟件還提供全面的功能控制功能，允許用戶自定義流程。此外,HITACHI LD-5011iA設計為用戶友好的步進器,它提供直觀的對話驅動用戶界面,使設置和操作更加輕松。晶片步進器還具有高度可靠的輸送機制，具有快速的索引和安全的樣品處理，從而提高生產產量。LD-5011iA是一種完全自動化和可靠的晶圓步進器，可用於各種光刻工藝。它提供了廣泛的功能來優化平版印刷工藝並產生可靠、一致的結果。HITACHI LD-5011iA具有直觀的用戶界面和可靠的聚焦能力,非常適合大批量生產環境。