二手 HITACHI LD-5011iA #9359431 待售

HITACHI LD-5011iA Stepper是一種高速、高精度的微加工機，非常適合先進的半導體生產。這種晶片步進器的設計提供優越的輸出和靈活性在晶片處理。LD-5011iA先進的全自動功能包括3軸激光投影控制設備,能夠精確控制超過0.25 μ m的圖樣分辨率的激光束。該激光投影控制系統提供了更好的放置精度,並允許更快地處理元縫線圖樣。它還具有一種獲得專利的高精度波聚焦檢測機制，可以防止晶圓的光學失真引起的錯位。HITACHI LD-5011iA在其25英寸區域舞臺上以每秒10,000步的最高速度運行，以進行快速和精確的掃描。它帶有一個高精度的射擊控制單元，允許在多個場點上優化精確掃描。LD-5011iA的三軸控制機使曝光誤差最小化，即使使用多曝光也能提供高精度。HITACHI LD-5011iA配備了能夠容納多達12英寸晶圓的晶圓處理程序。此功能消除了由於加載多個晶片而造成的任何損壞或汙染。耦合晶圓傳輸工具在需要處理多個晶圓時也增加了吞吐量。LD-5011iA Stepper由於其高速性能、優越的控制資產和超精密激光投影模型，是理想的晶圓處理解決方案。其先進的自動化功能有助於確保快速、準確地處理甚至最復雜的作業。機器的高性能晶片處理程序可最大程度地減少用於加載和卸載多個晶片的DownTime。此外,HITACHI LD-5011iA的先進技術允許更快地生產精密產品,從而在制造領域提供了優勢。