二手 ICOS LI 7250S #9163805 待售

ICOS LI 7250S是一種最先進的頂端晶圓步進器,旨在提供生產光刻方面的卓越性能。它采用模塊化設備結構,采用集成開放的體系結構,為快速、經濟高效的生產提供了一條途徑。LI 7250S具有高分辨率（高達25海米）的光學掃描和高級軟件控制功能,提供業界最高的吞吐量。ICOS LI 7250S具有廣泛的樣本定位選項,從手動加載到自動機器人處理。該系統還提供了獨特的「無概率加載」功能,使用戶能夠減少處理時間和成本。步進器還提供了多種波束和掃描模式，以優化吞吐量，實現高混合生產的更高產量。此外,LI 7250S還提供各種曝光控制（EC）功能,例如自動對準光束、曝光同步和減少步進噪聲。所有EC功能均受其用戶友好的圖形用戶界面（GUI）控制。ICOS LI 7250S在運行其最高分辨率（3X）光學器件時提供25nm的最大分辨率。其0.6X的光學還原功能還可以在更大的視場上更快地曝光。此外,步進器還提供多種示例掃描模式,如直線、步進、步進和重復以及圖像掃描。這樣可以確保用戶實現高混合生產的最高吞吐量。LI 7250S配備了創新的自動化過程控制（APC）單元,可實現步進參數的自動實時優化。該機利用預測算法和數據分析軟件，對過程條件進行即時、準確、精確的控制。APC工具還幫助用戶最大限度地提高產量並有效地管理生產運行。ICOS LI 7250S是為可靠性和耐用性而設計的,它通過以太網、GPIB、串行和USB具有安全可靠的連接。此外，它還配備了控制步進器本身的廣泛選項，如控制軟件、步進器聯網和步進器監控探頭。它還提供低容量光束關閉和內部控制器關閉等高級安全功能。LI 7250S是一種具有成本效益的晶片步進器,在生產光刻技術方面提供卓越的性能。它具有模塊化資產構造、高級暴露控制（EC）功能、自動化過程控制（APC）模型以及各種高級選項。這使得它成為高混合生產運行的理想選擇。