二手 ICOS T 102 #9152988 待售

ICOS T 102晶片步進器是一種光刻設備，設計用於高精度、高吞吐量和低成本每晶片的結果。該系統利用投影光學來降低生產成本，同時在晶圓表面上生成高質量的圖像。此設備配備了多種平臺配置,例如高級2掃描和自動調平系統,以實現精確的曝光對齊。它還包括集成對齊機、自動對焦控制和快速曝光序列控制。T 102具有Smart Reticle/Mask Changer,可實現最大的工藝靈活性。此功能允許對不同類型的產品晶片使用多個掩碼/標線。該工具還可以掃描多達6英寸的晶片以完成批處理。自動預對準可實現快速、輕松的標線定位。Auto Focus Smart Measure和Smart Index可識別幾何位置和自動聚焦靈活性功能,從而實現最大分辨率和圖像細節。ICOS T 102還配有先進的光學結構，具有8英寸的景深，用於改進對焦控制。它具有自動投影接觸功能,有效地將圖樣從標線傳遞到晶圓。此功能有助於減少失真和噪音。該資產與自動熱控制系統完全兼容，該系統可確保連續、一致的加熱器溫度，從而實現卓越的成像效果。為了確保快速、精確的結果，該模型還包括一些性能增強功能，如自動校準、標記傳感器的自動化以及用於檢測任何畸形的圖像監視器。集成的校準/檢查實用程序可確保跨多路復用器的可靠圖像質量。該設備具有曝光時間優化功能，能夠以更高的精度精確控制曝光時間，從而獲得更好的效果。T 102晶片步進器是一種可靠可靠的系統，具有各種特點和提高性能的技術，具有很高的精度和吞吐量。它配備了一個自動化的熱控制,以實現更一致的性能,它的標線更改器提供了顯著的過程靈活性,同時提供了出色的圖像質量。此單元非常適合各種生產應用程序,有助於降低成本並提高客戶滿意度。