二手 ICOS T 102 #9154670 待售

ICOS T 102是來自ICOS視覺系統公司的晶圓步進器，專門為先進的半導體光刻應用而設計。它配備了多種特性，使其非常適合半導體生產。該機核心由高消光燈、優化透鏡系統、高分辨率數字伺服電動機和一個設計為限制漂移和提高重復性的旋轉級組成。機器還帶有幾個可選組件，如接口卡、軟件和定位器，可以量身定制以適應不同的半導體過程。T 102具有雙光束系統，有助於提高掃描和成像速度。這兩個光束用於同時暴露晶片的不同區域，從而允許更大的吞吐量。該系統還能夠提供整個視圖領域的高質量。鏡頭的設計也允許高度的精確度和分辨率。ICOS T 102利用各種定位器確保晶圓精確放置在掃描字段內。定位器的主要部件是Leveler、Stage Rotator和Wafer Gradient Tracker。Leveler負責精度和可重復性,而Stage Rotator負責晶圓之間的快速切換。晶圓梯度跟蹤器還用於驗證晶圓在機器視場內的確切位置。T 102設計用於處理高分辨率成像文件夾,允許高級半導體工藝使用高分辨率成像。機器還配備了自動晶片加載機構，使其能夠在掃描過程開始前快速準確地對準晶片。該機與多種晶片兼容，設計用於加工半導體生產中使用的多種材料。它還配備了許多安全功能，以確保可靠和安全的運行。ICOS T 102的設計提供了高性能和最小的停機時間，使其成為半導體光刻應用的理想選擇。