二手 KMS Vision #9223591 待售

KMS Vision是一種先進的晶圓步進器，在半導體器件制造過程中具有高產率和光學性能。它允許晶片精確對準用於圖樣蝕刻的掩模。該系統采用具有光譜成像技術的先進光刻解決方案，實現晶圓上的完美圖像，並擁有自己的專有過采樣技術，以提高光刻步驟的準確性和可重復性。視覺系統由步進系統和輔助系統兩大組成。步進器是金屬和精密線性導軌的結構平臺，光學元件、階梯和光掩模安裝在該平臺上。步進器提供對元件的精確位置控制,以便將光掩模放置在基板上、精確對準和使圖樣以高精度重復到晶片上。輔助系統包括對準單元、照明器和照相機。相機是可調的，以分析光掩模的像素和識別所需的特征，而對齊單元讓用戶快速和精確對齊多個特征。照明器精確地照亮光掩模，並提供一個明亮的光源對準和圖樣。這款來自KMS Vision的先進晶片步進器具有光譜成像、混合晶片制圖和先進光刻系統等獨特功能，可提高生產速度和精度。其高精度的精密對準特性使其能夠將光掩模的特性精確地繪制到1微米以下,而其0.2微米以下的光學分辨率使其在同類產品上具有優勢。它具有超高分辨率定位能力,可以將掩模精確放置在晶圓的最小區域,從而提高收率。視覺還提供了驚人的斑點大小變化的4X，允許多層次的照明。先進的控制系統可以優化模式，以實現更好的聚焦，提高光學性能。此外，它的動態單鏡頭校正為多個曝光目標提供了廣泛的光學校正選項，並且能夠在曝光前檢測出非聚焦模式，從而提高了產量並提高了光學性能。總體而言,KMS Vision先進的高速晶圓步進器是高精度和高產基材制造操作的理想選擇,而這些操作的吞吐量和性能是必不可少的。