二手 KOMATSU G20K2-1 #9095919 待售

KOMATSU G20K2-1是一種用於半導體加工的晶圓步進器。它是為高精度和高性能晶圓步進器操作而設計的最先進的設備。該系統由四個關鍵組件組成：機器單元、光學機器、步進調整工具和控制資產。機器模型包括一個XY級、一個三相直接驅動電動機、一個光束和一個真空卡盤。XY級是放置晶片的大平臺，光束可以在其上移動以精確定位，並將晶片暴露在步進器的照明設備上。三相直接驅動電動機能夠精確控制光束的速度，有助於減少振動或速度波動造成的缺陷。光束和真空卡盤在曝光過程中固定晶片。KOMATSU G 20 K 2-1的光學系統由兩個獨立的相機組成，可以在x和y方向移動，以捕捉晶圓的高分辨率圖像。它旨在精確捕獲晶圓上最小特征的圖像，並為步進器提供每個特征的精確坐標，使工具能夠高精度打印所需的圖案。此外，該裝置還配備了由三種不同光源組成的照明機器，這些光源是可調的，以確保曝光晶片的最佳成像條件。G20K2-1的Step Adjustment Tool使刀具能夠快速調整步進器的位置和聚焦,以確保在晶圓上精確打印所需的圖樣。此資產可確保打印的圖樣與特征坐標精確對齊,從而產生所需的效果。最後，G 20 K2-1的控制模型由CPU和顯示器組成。CPU管理步進器的各種元件和功能，而顯示器則可用於實時顯示成像過程。該設備還具有用戶友好的界面，使用戶更容易控制步進器的參數和設置。總之，KOMATSU G20K2-1是為高精度和高性能操作而設計的最先進的晶圓步進器。它由四個關鍵組件組成，使工具能夠在晶圓上準確快速地產生定義的模式。