二手 KOMATSU G20K2-1 #9095922 待售

製造商
KOMATSU
模型
G20K2-1
ID: 9095922
優質的: 2002
KrF Laser scanner 2002 vintage.
KOMATSU G20K2-1晶片步進器是一種在濕蝕過程中設計用於可靠操作的精密機器。KOMATSU G 20 K 2-1是專為光刻工藝而制作的300 mm工具。它有一個頂置的燒燒盒、一個亞赤褐色和一個上部升降板,都是專門為在濕蝕刻過程中最大化精度而設計的。亞赤褐色提供了完美的溫度和化學環境,允許嚴格控制和均勻的蝕刻過程。G20K2-1使用自動頻閃控制裝置根據晶片的厚度自動調整曝光時間,從而實現高效、精確的晶片處理。它的± 12 μ m分辨率產生了緊密尺寸公差的一致結果,而它的位置定位設備提供了很高的精度。除此之外,先進的微負荷機制提供了更高的精度和改進的位置穩定,有助於提高最終晶片的質量。G 20 K2-1利用濕蝕刻工藝,產生拋光且完全均勻的表面。當結合其三級掩蔽過程,這提供了異常精確的寄存器和尺寸控制。此外,它的閉環背景自動對焦系統有效地控制了焦點驅動,以確保成像始終正確聚焦。KOMATSU G20K2-1具有多種功能,使其非常適合其預期的應用程序。例如,其先進的光電裝置減少了曝光時間,減少了晶片上的摩擦磨損,而晶片卡盤旋轉補償和安全加載機則有助於確保晶片的完整性和準確性。此外,其綜合清潔臂確保碎片和停機時間保持在最低限度。總體而言,KOMATSU G 20 K2-1晶圓步進器是一種可靠、精確的機器,非常適合光刻工藝。其先進的功能可實現高效、精確的晶圓處理,並提供更高的尺寸精度,從而確保高質量的最終產品在停機時間最短的情況下。
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