二手 KOMATSU G20K2-1 #9095924 待售

KOMATSU G20K2-1是一種高性能晶圓步進器，設計用於精確定位和對齊圖像傳輸過程中具有高度精度的光掩碼。這種堅固、集成的晶圓步進器利用現場可編程邏輯設備（FPLD）和多采樣十字準線相機來精確定位光掩模,並創建參考光掩模上采樣區域的精確十字準線。FPLD，加上運動和控制單元，讓KOMATSU G 20 K 2-1能夠精確定位光掩模。該單元測量晶片在X和Y軸上的定位，並生成連續數據進行動態控制。一種具有先進照明熄火電路的環境眼鏡光束傳感器，可采集數據進行精確測量。G20K2-1配備了兩組微米，以方便精確的微對準光掩模。微米測量光掩模和晶圓之間的距離每0.1mm，數據被發送到控制設備和晶圓步進器，以調整光掩模的位置和對齊方式。電機驅動的電機用於驅動微米。G 20 K 2-1還配備了自動對焦系統和激光對準裝置。自動對焦裝置使用CCD相機來捕獲有關光掩模焦距的數據。該數據可用於調整光掩模和晶圓之間的距離，以確保精確聚焦。激光對準裝置利用光束傳感器從晶圓邊緣分析光掩模上的十字光像。此數據用於在曝光過程開始之前更正光掩模的定位。為了進一步提高光掩模的位置和對準精度，KOMATSU G20K2-1利用先進的分析和校正算法消除了十字準線圖像中的斑點缺陷。此外，可以對FPLD進行編程，以適應不同的曝光參數。KOMATSU G 20 K 2-1還配備了集成診斷和監控機器。該工具可監控機器的性能並提出改進建議。此外，來自FPLD和運動和控制單元的所有數據和參數都可以轉移到一個中心站，以便對整個資產進行遠程控制和監測。總體而言,G20K2-1是一個高級且堅固的晶圓步進器,旨在為圖像傳輸過程提供卓越的性能和準確性。憑借其先進的特性和技術，它確保了所有光掩模曝光的最精確結果。