二手 KONICA MINOLTA Range 5 #9256713 待售

KONICA MINOLTA Range 5是一種高分辨率晶圓步進設備，設計用於先進的光刻工藝，如光掩模制造、晶圓制造、研發。該系統經過精心設計,可提供一流的性能,同時保持靈活性以適應各種流程。該單元利用VUV計量-ON探測器Ex UV光束源在視場中投影出一個均勻的、類似彩虹的高斯強度剖面。投影圖像高度穩定，允許晶片在機器內精確定位。該工具具有高分辨率光刻技術,最小線寬為10nm。還通過補償球面像差將焦點深度提高到490nm,從而能夠準確再現最精細的細節。資產還具有較大的磁場深度，允許晶片在任何方向上移動到6mm。該型號還配備了自動對準設備，允許更快、更輕松的設置時間。該系統設計的準確性和一致性是市場上任何其他單位都無法比擬的。Range 5 Wafer Stepper非常適合先進的光刻工藝，是晶圓制造、光掩模制造和其他研發活動的完美工具。