二手 MIDAS MDE-20000 #9215486 待售

MIDAS MDE-20000是用於光刻的晶圓步進器，用於將各種3D形狀和結構成像到基板上。該裝置由兩個截然不同的組件組成；投影單元和晶圓級，並利用紫外線光刻來定義基板上的形狀。MDE-20000投影單元能夠定義分辨率為0.25微米（250 nm）、精度高達5微米（5,000 nm）的結構。投影單元裝有掃描光學設備和激光源，用於將所需的形狀圖樣投射到晶圓上。投影單元的光學器件設計為在整個成像區域內提供超過0.1%的強度均勻性，可用於投影最大直徑20毫米的曝光場。MIDAS MDE-20000的晶片級允許晶片或基板在投影單元下方移動。晶片固定在二維電動機驅動級，可以調整為沿著X軸和Y軸移動。晶片級還包括閉環電機控制系統，用於確保晶片始終處於正確的成像位置。晶圓級的位置可以測量，精度高達0.5微米（500 nm）。MDE-20000還具有一整套安全功能，以保護用戶和設備免受潛在的破壞性輻射。這些功能包括一組傳感器,用於監控設備的溫度和光線強度,以確保用戶的安全,以及安全快門和緊急電源切斷機。MIDAS MDE-20000是一種功能強大且可靠的晶圓步進器,適用於各種光刻應用。MDE-20000結合了成像分辨率、精度和安全功能,是滿足高精度成像需求的理想解決方案。