二手 NIKON 10897B #293665610 待售

NIKON 10897B晶片步進器是一種高度精確的大型場成像設備，旨在產生高精度的大型半導體晶片圖像。該系統采用高分辨率級，使其在450毫米的場大小下實現小至1納米的成像精度。10897B有一個兩波長的激光單元，結合了405 nm的基於的ArF（的氟）準分子激光器和532nm的頻率三倍的Nd： YAG （neodymium-doltrium aluminal garnet）激光器。這臺兩波長的機器允許它對比單波長系統更薄的層進行成像。NIKON 10897B具有低k1失真，這使得它能夠在圖像平面中以較少的失真來成像。它還有一個高數值光圈（NA），這使它能夠通過透鏡收集更多的光，使其達到高分辨率。該工具在鏡頭上有一層防反射塗層，有助於避免光散射和反射，從而提高圖像質量。10897B晶片步進器是使用6軸運動資產構建的，這確保了晶片陣列時的精確定位。它與NIKON S2M Optimizer軟件集成在一起,該軟件可定期監控和補償加工特征與設計模式之間的差異,從而提供高吞吐量和準確性。它還有一個主動振動控制模型，將外部振動隔離到允許的水平，確保高精度。NIKON 10897B具有高達每小時360種模式的高速模式,從而實現晶圓步進器的快速吞吐量。它還改進了數據流操作，使設備能夠以高達每秒12兆位的速度連接到其他設備，並快速加載數據文件。此外，該系統設計為易於維護，具有補償過濾器單元和定期清潔步進器的清潔功能。總體而言，10897B晶片步進器是一種用於半導體晶片加工的高度先進和精確的成像機器。它提供了一個大成像場、雙波長激光工具、低k1失真和高NA、透鏡防反射塗層、6軸運動資產和S2M Optimizer軟件、主動振動控制模型、高速模式化率以及改進的數據流操作。這些功能使NIKON 10897B晶片步進器能夠提供高精度和吞吐量,確保高效和高質量的晶片生產。