二手 NIKON EX12 #293776343 待售

NIKON EX12是一種最先進的晶圓步進器，設計用於半導體制造的先進光刻工藝。它擁有完整的1：1投影光學設備，能夠在晶圓上進行高水平的精密成像，產生精確尺寸的圖樣，細節清晰。這使得它非常適合半導體應用，包括設備制造和亞微米特性對準。NIKON EX 12使用兩階段還原系統，以最大程度地減少失真和像差，導致最終影像得到改善。它結合了最新的計算機數控（CNC）技術，以確保平穩、準確、可重復的操作。晶圓步進器可以用800mm場鏡投影（FLP）單元產生80 nm至20 µm間距的圖樣。EX12在長時間的手術中也具有很高的穩定性。其先進的閉環伺服驅動機有助於降低步進總振動、熱感應失真和空氣湍流。產生精確一致的晶片對準和成像.步進器配備了先進的模式識別工具，使復雜的模式成像具有很高的精確度。它還具有不同的掃描模式，如線性、可變和螺旋掃描。可變掃描模式對於曝光時間較長的晶片特別有用，因為它可以幫助優化成像曝光。步進器還配備了集成的測量資產，最大限度地減少了操作員的幹預，改善了過程控制。它可以實時生成標線坐標，讓操作員可以即時精確檢查產品形狀。EX 12也有能力支持最多兩個階段的對準，以及在各階段之間轉移半導體晶圓。這有助於提高芯片生產過程的效率。晶圓步進器支持半導體制造過程中使用的多種類型的軟件，包括全系列的EDA解決方案。總體而言，NIKON EX12是一種先進的晶圓步進器，旨在滿足半導體行業最苛刻的工藝。它具有出色的成像精度、高水平的過程控制和自動化,以及一系列旨在簡化半導體制造過程的功能。