二手 NIKON FX-601F #293793272 待售
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ID: 293793272
優質的: 2008
Stepper
Operation rack
Control rack
Plate loader
In-line unit
Illuminator
Lamp starter
RCX Motor
Panel size: 370 X 470
2008 vintage.
NIKON FX-601F Wafer Stepper是一種旨在協助制造半導體MEMS（微型機電系統）、顯示器和其他集成電路的工具。NIKON FX 601F作為一種精密機器，為晶圓對準和光刻晶圓制造工藝取得嚴格的結果提供了有價值的選擇。FX-601F的核心配備了先進的NIKON Step and Scan階段。這個階段的設計允許控制和精確步驟和重復暴露晶圓。Step and Scan階段與基於CCD的成像設備相連,該設備提供晶圓上結構的高分辨率成像。還利用獨立控制的z軸管理器對曝光參數進行高精度控制。此外，FX 601F還配備了其他幾個關鍵功能，包括集成光刻光源、光學叠加測量系統、眾多晶圓處理工具和附件以及強大的控制器單元。光源為用戶提供了在各種波長範圍內工作的靈活性，從而實現了工藝優化和最小化曝光時間。光學覆蓋測量機提供了以微米精度將光掩模精確對準晶圓所需的精度和速度。晶片處理工具，如晶片對準板，可實現晶片的精確加載和卸載，而晶片槽則將汙染降至最低。控制器工具允許同步自動化,允許可重復的過程和質量生產。總體而言,NIKON FX-601F Wafer Stepper是一個必不可少的工具,旨在幫助精確制造集成電路以及其他半導體和MEMS組件。它具有高精度的Step and Scan級、光源、叠加測量資產和各種晶圓處理工具,以及先進的自動化和控制系統,為任何制造操作提供了寶貴的補充。
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