二手 NIKON FX-601F #9241806 待售

NIKON FX-601F是由NIKON Corporation設計開發的晶圓步進機。主要用於半導體工藝開發制造的光刻系統。該機器能夠收集各種步進模式，並且能夠處理直徑達300毫米的晶圓尺寸。適用於多種光掩模制造領域和工藝。NIKON FX 601F晶圓步進器配備了處理提供給系統的輸入圖像的數字圖像處理設備。該單元應用壓縮、裁剪、蒙版和切割等光刻工藝,以便在晶圓上進行精確的圖樣復制。輸入模式由三通道光電傳感器檢測，然後轉換為二進制模式數據。數據經過放大、平滑、過濾，最後打印到晶片上。FX-601F晶片步進器通過改進的線性編碼器和廣播伺服驅動電機提供精確、快速的打印。該機器能夠產生各種模式，包括線條/空間模式、脈沖電子模式、重叠模式和接觸孔模式。它具有211 x 211 mm的寬加工區域,地址分辨率為0.2 μ米。印刷圖樣的精度和均勻性取決於晶圓表面平整度精度和步速。FX 601F晶片步進器配有薄膜保護機，以保護蒙面圖案。此工具偵測到膠片因外力造成的破損，並停止列印以避免損壞圖樣。該機還配備了高靈敏度的自動對焦資產，以保證打印圖樣的質量。該機器有一個內置的配方數據庫，用於存儲晶圓加工和光掩碼制造的所有程序。NIKON FX-601F晶圓步進器設計方便操作和維護.它有一個先進的對接站，提供簡化的晶片裝卸操作。基於圖形操作菜單的人機工程學設計的用戶界面面板使用戶能夠輕松設置機器參數以實現高效操作。NIKON FX 601F晶片步進器能夠高精度地處理各種圖案形狀.它是光掩模制造和半導體加工的理想機器，因為它提供了簡單的維護和生產成本效率。借助這臺機器，可以實現高產光掩模制造。