二手 NIKON FX-601F #9398729 待售
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NIKON FX-601F是一種先進的晶圓步進器，旨在實現先進的光刻工藝。它為高精度半導體器件的協同成像和制造提供了理想的機制。NIKON FX 601F利用先進的技術特性，以高通量速度和可靠的運行實現最佳的平面內性能。它提供了>=3 µm線/空間的最高分辨率精度,包括出色的步進和重復精度。步進器能夠處理多種材料，包括傳統的基於光刻的抗蝕劑、二進制和高貴層條件。此外,它還能夠支持直徑從8毫米到200毫米不等的各種晶圓尺寸,這使其成為需要精度和高通量的應用程序的理想選擇。FX-601F的主要特點之一是高度集成的多圖樣技術（MPT），能夠實現先進的光刻工藝。這項技術有助於降低掩碼成本，提高可建造性，並提供更可靠和準確的結果。此外，集成光學設備允許高圖像質量的高數值孔徑，減少相移和散光效應。為確保可靠的操作和高效的晶圓處理，FX 601F配備了高精度的精密光學掃描儀和3-D投影系統。其獨立的鏡頭移位單元可以實現最佳的掃描參數和快速步進操作，而不考慮晶圓和圖樣大小。此外,步進器還設計了具有高度預對準精度的透鏡,從而能夠在大型基板上進行無應力和高度精確的投影。該裝置進一步配備了內置的自動對焦機，操作方便，重復性好。總體而言,NIKON FX-601F是一種精密的晶圓步進器,具有許多高級功能,可幫助確保高精度光刻,並具有卓越的平面內性能和最大的吞吐量。NIKON FX 601F集成了MPT和高精度組件,是專業半導體制造和光刻工藝的有力選擇。
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