二手 NIKON FX-66S #9387891 待售

NIKON FX-66S是晶圓步進器，或步進式掃描光刻工具，利用NIKON開發的先進曝光光學和光學/機器控制技術實現頂級總吞吐量。具體而言，FX-66S采用全自動舞臺系統，可實現自主模式對齊和叠加登記；提高吞吐量，提高產量。它還使用專利光學引擎，產生分辨率高達0.5µm、景深較大的高分辨率圖像。NIKON FX-66S系統會產生多種級別的模式,包括6度二進制級別和50灰度位級別。此外,FX-66S使用高精度的閉環晶片級,既能提供高端光刻所需的精度和穩定性,又能產生最小的電平偏移。它還提供了先進的模式優化功能，以減少周期時間和光學失真的影響。為了增加模式分辨率和準確性,NIKON FX-66S集成PC控制的TTL選項提供了高水平的曝光均勻性,以及曝光區域與周圍區域之間的均勻性保證。此外,FX-66S還包括功能強大的SIPP Mirror Optimizer,它通過全新的高度優化的高級步驟和重復功能提高了關鍵特征的準確性。這將使圖層具有高質量的圖樣,並最終有助於減少打印時間和提高生產質量。