二手 NIKON FX 701 / FX 901 #293661855 待售
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NIKON FX 701和FX 901晶片步進器是一種先進的光學光刻系統,設計用於在半導體晶片上精確繪制亞微米和納米尺度的特征。該系統具有優異的光學性能,並配備了先進的工藝監控技術.NIKON FX 701和FX 901系統采用兩個單獨的檢查和制造(或「工藝」)步驟。首先,光學投影系統使用高度詳細的步進透鏡將市場圖樣成像到晶圓上。鏡頭組件有幾個鮮明的特點,包括極端高溫的穩定性,這在光刻應用中極為關鍵。第二步是利用光學激光照明,通過只暴露指定區域來精確繪制晶片亞微米特征的制造工藝。FX 701和FX 901系統具有6英寸的掃描範圍和更長的舞臺行程,因此提供了極高的精度和卓越的成像質量。這種卓越的成像分辨率使NIKON晶片步進器能夠為先進的納米級器件制造創建高度精確的模式。NIKON FX 701和FX 901步進器除了創建高度詳細的亞微米模式外,還提供即時監控,允許現場工藝調整。這種先進的工藝監控使NIKON晶片步進成為當今要求苛刻的半導體制造應用的可靠高效工具。FX 701和FX 901晶片步進器還包括專利註冊功能,可提高晶片吞吐量和精度。配準功能通過精確掃描晶片自動執行多個任務,包括平移、多次對齊和模式校正。這進一步提高了流程的一致性和準確性。總體而言,NIKON FX 701和FX 901晶片步進器是為半導體晶片精密納米級制造而設計的先進光刻系統。FX 701和FX 901系統利用極其精確的步進鏡頭、專門的激光照明技術和先進的過程監控系統來創建高度詳細的亞微米模式。此外,該系統還具有專利註冊功能,可提高晶圓的吞吐量和準確性。這些特性的結合使得NIKON FX 701和FX 901晶圓步進成為當今先進納米技術應用的有效可靠工具。
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