二手 NIKON G4D #9144947 待售
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NIKON G4D是晶圓步進器,一種用於半導體工業的光刻工具。它能夠生產具有高度精度和精確度的半導體器件。它具有先進的光學設備,以及精密的x-y對準能力,以及最先進的計算機控制。憑借其先進的光學元件和高度精確的對準,G4D能夠在x和y軸上產生極高分辨率的結構和小至0.2微米間距的特征。NIKON G4D的光學系統包含一個高數值孔徑掃描數值孔徑(SNAP)單元和一個12毫米場發射器陣列(FEA)陣列。SNAP機由一個可移動的鏡像組件、一個精確的聚焦膜片和一個高度敏感的圖像陣列組成。其先進的光學器件能夠生成清晰、詳細的圖像,涵蓋廣泛且可定制的一系列特征,從而使其能夠有效地在半導體晶片上寫入有陣列的掩碼。G4D最先進的計算機控制使用同步的步進重復控制器,以確保每個掩碼在曝光前都能正確定位。這個工具還能夠操縱復雜的、多層次的掃描,以產生一系列的結果,這使得它成為一個高度通用的工具。此外,該單元還具有內部質量控制資產(QCS),用於監控和調整曝光過程。NIKON G4D還具有廣泛的特點,允許在光刻方面的靈活性。它有一個高速輪廓編程模型,便於陣列,以及包括激光和電子束的一系列曝光源。它還提供內置校準,以及一系列溫度和薄膜控制設置。總體而言,G4D是生產高分辨率半導體器件的極其可靠和精確的光刻工具。其先進的光學設備、高度精確的對準能力以及最先進的計算機控制,使其非常適合尖端的生產要求。
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