二手 NIKON G6 #293793323 待售

NIKON G6是NIKON Instruments Inc制造的高精度晶圓步進器。它能夠精確成像具有高吞吐量吞吐量和低線寬的各種晶圓尺寸和模具配置。NIKON G6為滿足半導體行業的需求而設計,它還具有卓越的運動線性和圖像質量指標。G6是由兩個掃描級、晶圓級和探測器級組成的四軸設備。掃描級負責精確定位晶片相對於由控制系統確定的檢測器。晶片級由一個由空氣軸承單元驅動的真空密封平臺和一個細螺距的鉛螺釘組成。探測器級由直接驅動步進電機驅動，該電機將細胞成像設備對準晶圓級。G6能夠成像直徑達8英寸的晶片。該機XY分辨率為0.01 µm，Z分辨率為0.001 µm，Z晶片到探測器間隙為5 mm。此外，NIKON G6的整體平面度為0.5 µm，適合高量、高精度成像。NIKON G 6還具有廣泛的集成光學元件列表，包括垂直傅立葉變換鏡頭和雙線CCD傳感器。G6還具有許多高級功能和可選組件,非常適合精確對齊和成像。這些功能包括自動準直工具、計算機化的1D曝光控制功能以及可編程的激光對準和顯微鏡功能。其他高級功能包括集成的高速、電動XY級、用於圖像對齊的寄存器標記以及用於可重復、精確掃描的基準標記。此外，G6能夠處理直徑達8英寸的晶片，還擁有晶片和檢測器之間關鍵對準的耦合資產。它還具有控制曝光時間和圖像快門速度，減少抖動和圖像失真的能力。最後,NIKON G6提供了一個用於遠程控制和監控的以太網通信接口。NIKON G 6是半導體行業理想的晶圓步進器，因為它提供了卓越的圖像質量指標、精確的運動線性度以及廣泛的支撐功能。G6具有多種組件和先進功能,能夠產生準確、高質量的晶圓圖像,並具有出色的吞吐量。