二手 NIKON G7 #293793324 待售

NIKON G7是一種用於制造半導體器件的高端光學光刻步進器。配備先進的光刻光學、對準精度、精密XY級、高速晶圓傳輸設備。NIKON G 7配備了6M像素CCD、強大的100 W水銀燈和0.7的高數值孔徑（NA）。該系統可以捕捉更精細的功能，並在要求最苛刻的半導體生產晶圓配置中提供最高的吞吐量。G7有兩種曝光模式：光束分割模式：聚焦光束用於曝光和對準,以及單光束模式,其中僅使用曝光。這兩種模式都采用了獨特的暴露策略，結合了低暴露劑量和高生產率。G7具有獨特的XY舞臺設計,可在所有軸上提供非常高的精度。即使在高速下,它也能精確定位精度為2.5 µm。此外，視場的邊緣是圓形和連續的，提供了改進的圖像質量和更好的晶圓覆蓋。掃描單元具有較大的掃描區域,可在整個晶片中實現最大的字段重叠和均勻的均勻性。三個非常先進的子掃描系統進一步改進了掃描運動：兩個在三個軸上驅動舞臺，一個在做剖析。NIKON G7的晶片傳輸機具有高速晶片夾緊和解開、高速晶片傳輸等特點。所有驅動器均為線性驅動器,可消除任何振動、噪音和磨損。驅動馬達最多可提供8個馬達相位,以確保速度達到500 mm/s。NIKON G7配備了成熟的作業執行工具，可以輕松地與第三方軟件和控制系統集成和操作。該資產還支持觸摸屏操作和常規測試（如臨界尺寸和過程窗口測量）的集成。總體而言，G7是一種強大的晶圓步進器，為先進的半導體器件制造提供高精度和吞吐量。它具有獨特的特點，是任何生產線的絕佳選擇。