二手 NIKON i10 #293807128 待售

NIKON i 10是用於生產半導體的尖端晶圓步進器。它具有高達每小時450晶圓的高吞吐量，並以掃描曝光對準方式運行。它利用光刻光源，光學對準放大倍率高達1,120X，能夠精確地處理低至0.3微米的小特征。NIKON I 10的創新設計采用全模塊化模塊,可精確對齊。可調光源模塊的加入為適應不斷變化的半導體行業提供了必要的靈活性。該機器還允許各種晶圓尺寸的陣列和集成的過程監控功能。I10提供了一個獨特的設計，兩個獨立的標線可以相互切換，允許一個廣泛的曝光區域。這得益於集成的低k1和k2校正，即使對於復雜的模式也產生統一的模式。這允許更高的生產率,並且能夠在不需要機器停止的情況下在標線之間切換。I 10受益於許多堅固的安全特性,例如保持最佳條件和抵抗汙染的真空室設計。環境安全系統保護光源室，時刻保持操作員安全。最後，高效的防反射塗層確保了可靠的性能和高產率。總體而言,NIKON i 10專為高吞吐量和準確性而設計,非常適合要求最苛刻的半導體應用。它具有模塊化設計、可調光源和強大的安全功能,為半導體生產提供可靠且經濟高效的性能。