二手 NIKON i10C #293814170 待售

NIKON i10C是由NIKON Corporation開發的高級級晶圓步進器。NIKON I 10 C具有基於投影鏡頭的光學設備，提供卓越的圖像分辨率和均勻性。它利用高功率LED進行光刻，並與一系列專門的晶片基板兼容，不需要特殊的光學元件。該機適用於廣泛的精密微光刻應用，包括半導體器件制造。I10C的成像系統可以提供高達0.5微米分辨率的曝光，並支持廣泛的曝光和掩模制造技術，如陰影掩模、相移、二進制和連續掃描。成像單元還能夠產生最復雜的圖案，包括細至0.25微米的線條和小至0.2微米的開放空間。I 10 C還配備了其他功能,可提高工作效率和準確性。其機動化晶片級為精確曝光提供了精確的運動，其自動對焦能力可用於快速晶片對準。其高精度斜角算法保證了高質量的成像水平，沒有圖像失真。而且，其極精確的浸泡液室提供了極好的平面均勻性和動態穩定性，導致更高的產率。此外，NIKON i10C獨特的晶圓協調機被設計為能夠快速準確的組合晶圓曝光，同時最大限度地減少晶圓失真。該工具通過圖像旋轉和掃描叠代提供軟件控制的掃描和玻璃基板運動。這些功能確保NIKON I 10 C能夠為各種晶圓尺寸和形狀提供高效曝光。總而言之，i10C是一種強大的晶圓步進器，旨在支持最先進的微光刻應用。其高精度成像資產、機動化晶片級、自動對焦能力、出色的平面內均勻性和動態穩定性以及高效曝光協調模型只是使I 10 C成為NIKON最佳機器之一的一些特點。