二手 NIKON i11 #293606913 待售

NIKON i11晶片步進器是為半導體晶片處理應用而設計的全自動光刻設備。它提供了最高的吞吐量,但具有最大的分辨率和圖像保真度。本機是各種半導體器件生產工藝的理想選擇.NIKON I 11系統是一種強大可靠的光刻解決方案,適用於先進的光掩模制造工藝.I11晶圓步進器由先進的22毫米平場和4K計算機控制的偏轉單元提供動力。這臺機器提供高度精確的光刻處理與一個大的過程窗口，確保高可重復性。步進器還配備了高分辨率光學工具，數值孔徑大0.8，快門時間僅為4.5毫秒，步進器配備了全自動清潔資產，確保了標線的清潔度，最大限度地減少了顆粒產生。該模型還具有低溫視圖檢查器，允許用戶檢查標線中的微觀模式。此功能允許用戶在蒙版工藝啟動前識別出任何錯誤或汙染,以獲得最大的產量和質量。I 11晶片步進器分三級，包括晶片級、標線級和腔室級。晶片級利用角編碼器和伺服電動機提供對步進器掃描面積的精確控制。它還配備了標準的加熱卡盤設備和抗蝕性水坑加熱器，以確保溫度和工藝控制均勻。標線級裝有一個空氣軸承滑軌，用於固定面罩，並在曝光時保持與晶片卡盤完美對齊。腔室舞臺包含眾多組件，包括百葉窗、MER屏蔽、光學窗、擴散器和汞燈外殼。此階段可確保晶圓曝光過程中的精確、一致和可重復模式。NIKON i11晶圓步進器還有一個用戶友好的軟件界面，可以從前面板輕松訪問。使用此界面,用戶可以從一個中心位置輕松設置、控制和監視其生產過程。步進器還可以存儲暴露參數等配方信息，以便重復給定的模式。總體而言，NIKON I 11晶片步進器是大容量晶片處理應用的理想選擇。它提供高分辨率的光學系統、自動清洗裝置、強大的偏轉和掃描功能、用戶友好的軟件界面和全自動過程控制。這些功能使用戶能夠快速高效地生產出可靠和高質量的半導體器件。