二手 NIKON i11 #9296413 待售

NIKON i11是由NIKON制造的晶圓步進器，在光學和基於光學的技術世界中是領先的名稱。NIKON I 11晶片步進器是利用5軸對準技術在半導體晶片上精確放置和圖樣光阻的高效、精確的設備。它非常適合那些需要為專門的高科技應用創建納米級晶片的人。由於其專有的5軸後對準系統，i11能夠以無與倫比的精度打印光刻圖樣。該單元允許晶片步進器在應用過程中調整其光學，以補償晶片上的圖樣和目標之間的任何變化。這將導致比其他晶片步進器解決方案更高的精度,並有助於確保最終產品具有最高的結構完整性和最高的性能。I 11具有各種各樣的特點，例如其革命性的兩束曝光機，它可以在直徑150毫米的晶片上快速放置復雜的光刻圖樣。此外,此工具還可以打印多種曝光模式,而無需切換光束角度或進行繁瑣的重新定位。NIKON i11還具有高速圖像捕獲資產，可以準確記錄應用模式，甚至檢測到與目標有絲毫偏差。這在具有挑戰性結構的晶片（如雙面光致抗蝕劑或塗層圖樣不相等的晶片）上打印時特別有用。此外，NIKON I 11還包含了適應醫療器械制造商需求的功能。它能夠接受原材料輸入，並以高度的精確度將其送入基板。此外,該模型還能夠進行基於激光的位移測量（LBDM）,以便在打印光刻膠圖樣之前確定其精確位置,從而使醫療設備制造商能夠確保其圖樣具有一貫的高精度。這種前沿晶片步進器也是為了方便操作而建造的。高性能200W激光器使它能夠快速打印光刻膠圖樣並完成它們,而不會影響質量。此外，i11還可以重新配置和升級，以增加處理的多功能性。這有助於制造商跟上晶圓加工技術的進步，使I 11成為一項極好的投資。