二手 NIKON i11C #293600659 待售

NIKON i11C晶片步進器是NIKON系列晶片步進器的最新版本,能夠高效、精確地生產半導體。它是第一款搭載全新高功率投影鏡頭i-LIGHT Lens™的機型，提供清晰、高分辨率的光刻，具有寬廣的數值光圈。i11C的主要組成部分是它的i-LIGHT Lens™，它結合了兩個反向旋轉的圓柱鏡。這使得其0.325的寬數值孔徑和65nm的完美分辨率得以實現。這種投影鏡頭能夠有效地掃描寬阻抗厚度與快速曝光.I11系列經過優化晶圓處理能力的設計。這包括不僅能有效地處理標準半導體晶片，而且還能處理超細晶片、絕緣體金屬（MOI）晶片等等。通過並行處理和先進的自動對焦技術,實現了準確、高通量的成像。i11系列采用了多種精密技術，以確保晶圓最佳對準和晶圓平整。其最新的高寬高比曝光系統（HARES）利用擴大的曝光面積和擴大的多樣性範圍,快速準確地將晶片與不均勻的表面和邊緣對齊。晶圓步進器還記錄高級工藝控制和質量保證所必需的信息。跟蹤和存儲有關條件的數據，如舞臺位置、鏡頭位移和叠加，供以後分析。這使得模式具有很高的準確性和可重復性，使NIKON i11C能夠滿足先進半導體制造的高需求。為了實現高效的開發和操作,i11C配備了一套全面的軟件。這包括各種工藝設計工具和實用程序。此外,還包括網絡功能。這些功能允許與其他NIKON系統進行通信,從而使用戶能夠靈活地與其他生產工具進行鏈接。總體而言，NIKON i11C是一種功能強大、用途廣泛的工具，它可以改進對傳統晶圓步進器的控制和精度。它非常適合具有挑戰性的光刻任務，如接觸開口和蝕刻步驟過程。利用其高性能投影鏡頭和優化的晶圓處理能力，提供了支持半導體制造所需的效率和精度。