二手 NIKON i11C #293664633 待售

NIKON i11C是半導體制造中常用的高精度晶圓步進器。它是NIKON Regulus系列晶圓步進器的一部分，在設備處理精度、叠加精度和成本效益方面提供卓越的性能。I11C具有先進的成像系統,其中包括具有高分辨率圖像的無掃描相機、較大的景深範圍和動態覆蓋CyberOptics。這確保了在各種基材和材料上的最佳對齊。晶圓步進器還具有高速CCD矩陣曝光系統,該系統可減少曝光時間,同時在多個步進器運行過程中保持一致的精度。這種合一的方法不需要額外的機器或外部設備。NIKON i11C的縫合技術提供了卓越的分辨率和精確的叠加精度,允許給定晶圓上的重叠曝光。縫合步驟也不需要縫合面罩和手動對準步驟。另外，晶片步進器結合了尼康定律定向檢測技術，用於精確的圖樣匹配和叠加精度。這些功能的組合為當今可用的任何晶圓步進器帶來了最高的分辨率、性能和準確性。I11C具有6自由度的傾斜軸,使其能夠精確執行復雜的縫合和曝光任務。傾斜軸提供了3D加工操作所需的附加控制和復雜程度。此外,它的精細間距配準功能使用戶能夠輕松滿足具有挑戰性的幾何要求。晶片步進器的柱兼作輻照單元,允許在單個基板上執行復雜的3D加工操作。它還提供了階躍曝光功能,可減少掩碼和優化成像時間。NIKON i11C還使用戶能夠減少制造設備所需的過程步驟數,從而縮短周期時間並降低成本。除了管理功能外,i11C的高級自動化還減少了停機時間和設置時間。它的連續處理功能使設備制造能夠以最小的中斷完成。晶圓步進器的高性能算法使用戶能夠實時跟蹤狀態，從而可以主動解決問題。NIKON i11C是一種特殊的半導體制造機械,能夠對各種基材和材料進行精確的器件處理、卓越的叠加精度和成本效益。其先進的成像和自動化功能確保了最佳生產效果。