二手 NIKON i11C #9205853 待售

NIKON i11C晶片步進器是為高效生產先進集成電路晶片而設計的一種自動照相光刻設備。它是先進生產復雜微型設備的創新解決方案。I11C晶片步進器結合了NIKON高精度掃描階段的功能和最新的分析技術,提供了卓越的性能和成本節約。這個價格有競爭力的自動照相系統擁有許多先進的功能。NIKON i11C晶片步進器利用三維掃描技術對光刻面膜和基片進行精確對齊。晶片步進器的自動化級控制單元使屏蔽和晶片具有先進的光學和機械對準效果。這樣可以精確地定位步進器主體中的掩模,從而加快周轉時間並降低成本。I11C晶片步進器還具有一整套應力測量和傳感系統。先進的應變儀機可以檢測和監測長期應變、熱蠕變和溫度突然變化引起的應力。最先進的線性和旋轉編碼器測量基片和光刻面罩的相對位置，精度超過1微米。此功能可確保快速檢測到基板表面的細微變化,從而可以將高分辨率圖樣精確傳輸到晶片,而不會出現任何錯位。NIKON i11C晶片步進器還利用高端光學工具向晶片傳輸圖樣。這一資產利用集成的10百萬像素CCD傳感器以0.25微米的分辨率捕獲圖像。CCD傳感器還具有環形照明模型，能夠以較高的吞吐量捕獲電路模式的精確輪廓。綜合光譜成像設備通過分析晶圓表面圖樣的形狀和信號，進一步提高了圖樣識別精度。I11C晶片步進器還具有自動對準系統，以提高光刻工藝的準確性和可重復性。這種自動化裝置利用雙攝像頭、雙視圖投影機將面罩精確對準基板表面。先進的視覺工具可以有效地檢查每次掃描，並確保模式被準確地傳遞。自動對齊資產還可以減少人工,從而加快周轉時間並節省更多成本。NIKON i11C晶片步進器是高精度生產先進集成電路晶片的強大且經濟高效的解決方案。憑借其先進的自動化和控制系統、卓越的圖像采集以及強大的應力和應變傳感器,i11C通過提高生產率和產量來節省成本。